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《JAIST》1/19(木)ナノテクノロジープラットフォーム公開講座~ 材料の微細加工のためのイオンビーム技術の基礎と実習 ~

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1/19(木)ナノテクノロジープラットフォーム公開講座
~ 材料の微細加工のためのイオンビーム技術の基礎と実習 ~  開催のご案内
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北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)ナノマテリアルテクノロジーセンター主催で
集束イオンビーム(FIB)技術の基礎を学び、電界電離ガスイオン源(GFIS)を用いたFIB装置の実習を
行うことのできる公開講座を開催いたします。

ポスターはこちらからご覧ください。
http://www.jaist.ac.jp/NanoPlat/news/pdf/GFIS%20chirashi.pdf

ただいま受講者を募集しております。
皆様のご参加をおまちしております。

■日時: 平成29年 1月19日(木)  10:00~17:00

■場 所:北陸先端科学技術大学院大学
       JAISTイノベーションプラザ
       〒923-1211 石川県能美市旭台二丁目13番地いしかわサイエンスパーク内
              (本学敷地 向かい)

■講 師: 富取 正彦 (JAIST応用物理学領域 教授)
        八坂 行人 (株式会社日立ハイテクノロジーズ、JAIST客員教授)
      赤堀 誠志 (JAISTナノマテリアルテクノロジーセンター准教授)
        宇野 宗則 (JAIST技術サービス部 技術専門職員)
        マレク シュミット (JAIST水田研研究員)

■内容: Gaに代表される液体金属イオン源を用いた集束イオンビーム(FIB)技術は、透過型電子顕微鏡用試料の作製や半導体製造用フォトマスクの修正など、様々な材料の微細加工に広く利用されている。また近年さらなる微細化に向け、電界電離ガスイオン源(GFIS)を用いたFIB技術が進展しており、本学にもH25年度に装置が導入され、H27年度からナノテクノロジープラットフォーム事業の登録装置として外部公開されている。本講座では、材料の微細加工に有用なFIB技術を広く良く知っていただくことを目的として、FIBおよび関連要素技術の一つである電界イオン顕微鏡(FIM)の基礎を講義するとともに、GFIS-FIB(もしくはGa-FIB)装置を用いてビーム調整や微細加工の実習を行う。

■対象: 企業・他大学等に所属する方で、FIB、GFIS-FIBについて学びたい、
      あるいは本学のこれらの装置で試料測定を希望される方

■定員: 5~7名程度(先着順)

■受講料: 6,200円(税込)

■申込方法:受講希望の方は、①氏名(ふりがな),②勤務先等・職名,
      ③受講の目的,④本講座に期待すること,⑤書類送付先,⑥電話番号,
      ⑦メールアドレスを明記の上、
       E-mail(宛先 r-soukatsu@jaist.ac.jp)またはFAX(ポスター2ペー ジ目参照)でお申し込みくださ い。

■申込締切:平成29年 1月 10日(火) 【先着順 定員に達し次第締切】 

■問合せ・申込み先:
  北陸先端科学技術大学院大学 研究国際部 研究推進課 総括・企画係
  〒923-1292 石川県能美市旭台1-1 TEL:0761-51-1896、1902 FAX:0761-51-1919
  E-mail:r-soukatsu@jaist.ac.jp

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