利用報告書

インクジェット法で微細パターニングした有機半導体薄膜の結晶性の評価
佐々木柾之
東京大学大学院

課題番号 :S-18-JI-0016
利用形態 :技術代行
利用課題名(日本語) :インクジェット法で微細パターニングした有機半導体薄膜の結晶性の評価
Program Title (English) :Evaluation of crystallinity of organic thin films fine-patterned by inkjet
利用者名(日本語) :佐々木柾之
Username (English) :M. Sasaki
所属名(日本語) :東京大学大学院
Affiliation (English) :The university of Tokyo

1.概要(Summary )
有機半導体単結晶を10umレベルでパターニングした薄膜の微笑領域の結晶性を、電子線回折を用いて評価する。

2.実験(Experimental)
申請者が研究室内の装置で作成した有機半導体結晶膜をTEMグリッドに転写後、電子線回折パターンをとる。その後シミュレーションなどとの比較により、結晶性や配向性を評価した。

3.結果と考察(Results and Discussion)
作成した薄膜は数100umの長距離にわたって単結晶であることが確認できた。また分子の配向はキャリア伝導に有利な方向に配向していることがわかった。このことは、この薄膜がインクジェット法で作成された膜としては高い移動度を示したことの根拠となった。

4.その他・特記事項(Others)
なし

5.論文・学会発表(Publication/Presentation)
なし

6.関連特許(Patent)
なし

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