課題番号 ：S-18-SH-0021
利用形態 ：共同研究型
利用課題名（日本語） ：ディスクの表面欠陥解析
Program Title (English) ：Analysis of surface defect on magnetic disk
利用者名（日本語） ：小澤 強
Username (English) ：Tsuyoshi Ozawa
所属名（日本語） ：HOYA株式会社
Affiliation (English) ：HOYA Co., Ltd.

１．概要（Summary ）
衝撃による不良発生メカニズムを解明するために、ディスク表面の欠陥解析をおこなった。

２．実験（Experimental）
衝撃試験を行い、ディスクに発生した欠陥部分を電子顕微鏡にて観察し、エネルギー分散型X線分析装置を用い、元素分析を実施した。
利用装置：電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
　　　　　　+エネルギー分散型X線装置（DEX）

３．結果と考察（Results and Discussion）
衝撃試験後の欠陥部の電子顕微鏡像を以下に示す。

図-１、欠陥部電子顕微鏡像

図-２、分析箇所

表面に、凹状欠陥(スクラッチ)が発生していることが確認された。
欠陥部をエネルギー分散型X線分析装置で分析した。分析結果を解析したところ、ディスク上部に形成されている何層かが、削られて剥がれていることが判明した。
今後は、衝撃試験による欠陥観察を進め、欠陥形態などから原因を分類し、発生メカニズムを追求したいと考えている。

４．その他・特記事項（Others）
本件に関し、信州大学ナノテクノロジープラット事業の小畑研究員には貴重なアドバイスをいただきました。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし

６．関連特許（Patent）
なし