課題番号 ：S-19-JI-0044
利用形態 ：技術代行
利用課題名（日本語） ：フッ素樹脂の分子軌道エネルギー準位測定
Program Title (English) ：Measurement of molecular orbital energy level of fluoropolymers
利用者名（日本語） ：阿部岳文1), 鶴岡薫1)
Username (English) ：A. Takefumi Abe1), B. Kaori Tsuruoka1)
所属名（日本語） ：1) AGC株式会社
Affiliation (English) ：1) AGC Inc.

１．概要（Summary ）
フッ素樹脂を有機半導体素子に適用するにあたり、HOMOおよびLUMOのエネルギー準位を把握することが重要であることから、今回UPSにおける分子軌道エネルギー準位測定を行った。

２．実験（Experimental）
装置名：XPS AXIS-ULTRA DLD
　Au 100nmを蒸着したガラス基板にフッ素樹脂の薄膜を3nm, 6nm, 9nmの膜厚で成膜し、3種類の測定試料を作製した。

３．結果と考察（Results and Discussion）
　上記試料についてUPS測定を実施し、UPSスペクトルからCut-OffとVBM(Valence Band Maximum)を求めた。フッ素樹脂は絶縁性が高く帯電し易いため、測定には中和銃を用いた。
低束縛エネルギー側に下地のAuピークが重なって観測される可能性を考え、膜厚の異なる試料について測定を行い、得られたスペクトルより膜厚と相関して強度の変わるピークをAu由来であるとして排除し、フッ素樹脂のVBMを特定した（図１参照）。
こうして得られたVBMとCut-Offの束縛エネルギーの幅Ewを照射光HeIのエネルギー21.22差し引き、フッ素樹脂のイオン化ポテンシャル（IP）を求めた。得られたフッ素樹脂のIPは10.12であった。

４．その他・特記事項（Others）
なし

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし

６．関連特許（Patent）
なし