課題番号                ：S-19-OS-0008

利用形態                ：機器利用

利用課題名（日本語）    ：ワイヤーグリッド型偏光板の作製

Program Title (English) ：Development of wire grid polarizer

利用者名（日本語）      ：大村拓磨, 山口敦

Username (English)     ：T. Omura, A. Yamaguchi

所属名（日本語）        ：株式会社　東海理化

Affiliation (English)  ：Tokai Rika, Co.Ltd

１．概要（Summary ）

偏光板の特性を利用した、自動車内装部品の開発を検討している。

ワイヤーグリッド型偏光板はナノレベルの微細なライン＆スペース（以下L&S）で構成される。原子間力顕微鏡（以下AFM）を用いて、この微細形状を測定した。

２．実験（Experimental）

【利用した主な装置】

S15 走査型プローブ顕微鏡(E-sweep)

【実験方法】

測定試料には、ナノインプリントで微細なL&Sが転写されたCOPフィルムを用いた。

試料をイオナイザで除電処理し、Table 1に示すカンチレバーを用いてAFMによるL&S形状の測定を行った。また、比較のために、L&Sに垂直方向に断面カットした試料をSEMで断面観察した。なお、試料断面には導電性確保のため微量のAuを成膜した。

Table1. Cantilever specifications

３．結果と考察（Results and Discussion）

Figure 1にAFM、およびSEMによるL&S形状の測定結果を示す。両者の測定結果を比べると、L&Sのピッチや高さに顕著な違いは見られないものの、AFMの方がスペース幅が狭い。これは、Figure 2に示すように、カンチレバーの探針先端が垂直に近い形状の根本付近を走査できないためと考えられる。

また、同じAFM測定でも、ダイナミック（AC）モードよりもサンプリング・インテリジェント・スキャン（SIS)モードの方がライン形状が左右対称であり、SEMの断面観察像の形状に近かった。

Figure 1. Results of　L&S measurements by AFM and SEM

Figure 2. Scanning path of the probe

４．その他・特記事項（Others）

本課題にあたり、装置使用方法に関してご説明頂きました大阪大学分子・物質合成PFの北島様、和辻様に感謝致します。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）

なし。

６．関連特許（Patent）

なし。