課題番号                ：S-20-NM-0003

利用形態               ：機器利用

利用課題名（日本語）    ：半導体向け固体・液体材料の分析、評価、精製

Program Title (English) ：Analysis of solid and liquid chemicals for semiconductor applications

利用者名（日本語）      　 ：村瀬圭一

Username (English)     ：Keiichi Murase

所属名（日本語）   　     ：日本エア・リキード合同会社ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ事業本部ｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾄﾞﾏﾃﾘｱﾙｽﾞ事業部

Affiliation (English) ：Advanced Materials Business Unit, Electronics division, Air Liquide Japan G.K.

１．概要（Summary）

溶媒中に溶けた未知濃度の有機金属化合物の純度測定について¹H-NMRを用いて行った。

２．実験（Experimental）

【利用した主な装置】

• NMR装置　：JEOL　ECS-400

【実験方法】

未知濃度の有機金属化合物をNMR溶液として調製し、^１H-NMR測定を行った。得られた溶媒に由来するピークと化合物に由来するピーク比から化合物の濃度を算出した。

３．結果と考察（Results and Discussion）

材料の特性から他の分析方法ではできなかった化合物純度測定を¹H-NMRを用いて算出することができた。

４．その他・特記事項（Others）

NIMS分子・物質合成プラットフォームの服部様にNMR計測について支援を受けた。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）

なし。

６．関連特許（Patent）

なし。