課題番号 ：S-20-OS-0016　
利用形態 ：機器利用
利用課題名（日本語） ：半導体量子ナノ構造における量子輸送現象の研究
Program Title (English) ：Study of quantum transport phenomena in semiconductor nanostructures
利用者名（日本語） ：木山治樹，林望
Username (English) ：H. Kiyama, N. Hayashi
所属名（日本語） ：大阪大学産業科学研究所
Affiliation (English) ：The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University

１．概要（Summary ）
超伝導電極を有する半導体量子構造において、マヨラナ粒子やクーパー対分離などの新奇量子輸送現象の研究が精力的に進められている。本研究では超伝導体としてスズに着目し、RFスパッタによる成膜とその超伝導特性の評価を行った。

２．実験（Experimental）
【利用した主な装置】
S10 RFスパッタ装置(マグネトロン型RFスパッタ装置)
【実験方法】
フォトリソグラフィとRFスパッタによって幅１０ミクロン、長さ500ミクロン、厚さ250nmのSn薄膜を作製した。

３．結果と考察（Results and Discussion）
Sn薄膜表面の電子顕微鏡写真をFig1に示す。

Fig. 1. Scanning microscope image of Sn film.

　また、作製した試料の温度0.4Kにおける電流電圧特性をFig.2に示す。磁場0mTと25mTにおいて、低電流領域で抵抗がゼロとなっており、超伝導を確認した。

Fig. 2. Current-voltage characteristics at temperature 0.4 K.

４．その他・特記事項（Others）
・科学研究費補助金・基盤研究（S）　No. 17H06120

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし。

６．関連特許（Patent）
なし。