課題番号 ：S-17-OS-0017
利用形態 ：機器利用
利用課題名（日本語） ：塗布型高移動度有機トランジスタの開発
Program Title (English)　：Development of Solution-crystallized high-mobility organic transistors
利用者名（日本語） ：廣瀬友里
Username (English) ：Y.Hirose
所属名（日本語） ：パイクリスタル株式会社
Affiliation (English) ：PI-CRYSTAL, Co., Ltd.
キーワード／Keyword　　　 ：有機半導体、絶縁膜、膜厚測定

１．概要（Summary）
塗布型高移動度有機トランジスタの開発を目的とし、特に、作製プロセスの各工程を改善することにより有機トランジスタの性能の向上を目指した。その際に、接触式膜厚測定器を用いて、アルミナ絶縁膜の膜厚を測定し、絶縁膜の安定した製造工程を担保することができた。

２．実験（Experimental）
【利用した主な装置】
S17 接触式膜厚測定器
【実験方法】
接触式膜厚測定器でアルミナ絶縁膜の膜厚を測定した。

３．結果と考察（Results and Discussion）
アルミナ絶縁膜の膜厚とキャパシタンス値から、比誘電率を求めた。得られた絶縁膜を用いて、塗布法により有機半導体を製膜後、有機トランジスタを作製し(Fig. 1.)、良好なn型トランジスタ特性を得ることができた(Fig. 2.)

４．その他・特記事項（Others）
なし。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし。

６．関連特許（Patent）
なし。