課題番号 ：S-19-KU-0021
利用形態 ：機器利用
利用課題名（日本語） ：材料表面の欠陥分析手法の開発
Program Title (English) ：Development of a new method for analyzing the defects on the surface of materials
利用者名（日本語） ：吉原　大輔, 王 胖胖, 一丸 恵子, 川畑 明
Username (English) ：D. Yoshihara, P. Wang, K. Ichimaru, A. Kawabata
所属名（日本語） ：公益財団法人　九州先端科学技術研究所
Affiliation (English) ：Institute of Systems, Information Technologies and Nanotechnologies

１．概要（Summary ）
製品開発の際に必須である製品の新たな欠陥分析手法を確立するために、大型装置での分析が必須である。今回は本事業を介した機器利用により、特に製品表面にできた微細な欠陥を分析するための表面分析法を確立すること目的に行った。また、得られた結果をもとに欠陥の発生原因とその対策を確立するまでの一連のプロセスを構築することも目的とし行った。

２．実験（Experimental）
今回は九州大学分子・物質合成プラットフォームを利用し、電子状態測定システム 島津製作所社製　 AXIS-ULTRAを使った極表面の元素分析を行った。

３．結果と考察（Results and Discussion）
上記の機器利用による開発中製品の分析を行うことで、欠陥が生じた際の極表面の状態に関して貴重な知見を得ることができた。この結果をもとに原因を究明し、製造工程における欠陥が生じる工程の洗い出しをすることが可能となった。また、上記の装置を使用することで欠陥が生じた際の評価をする体系を整えることができたことから、非常に有意義な機器利用であった。今後はさらなる情報を得るべく、ビーム径を絞った局所の分析や深さ方向のエッチングによる分析も行いたい。

４．その他・特記事項（Others）
この度の機器利用では、弊所が持ち込んだサンプルを測定するためのサンプリングや装置利用についてご助言いただいた柿田有理子氏に感謝いたします。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし

６．関連特許（Patent）
なし