課題番号 ：S-17-KU-0029
利用形態 ：機器利用
利用課題名（日本語） ：金属表面およびガラス表面のXPS分析
Program Title (English) ：XPS analysis of the metal surface and glass surface
利用者名（日本語） ：森田温可1）
Username (English) ：Haruka Morita1)
所属名（日本語） ：1) メルコセミコンダクタエンジニアリング株式会社
Affiliation (English) ：1) MELCO SEMICONDUCTOR ENGINEERING Co., Ltd.

１．概要（Summary ）
表面分析装置のひとつであるXPSを用い、導体である金属表面と絶縁物であるカバーガラス表面の定性分析および定量分析を行った。目的としては弊社保有装置とのデータ比較である。検出元素や半定量値に着目し、分析を行っている。

２．実験（Experimental）
【利用装置】
アルバック・ファイ社製X線光電子分光分析装置ESCA5800

【分析条件】
・定性分析（Beam Size:400um,Beam Power:25W,
Acc:14kV,Pass Energy: 93.90eV）
・定量分析（Beam Size:400um,Beam Power:25W,
Acc:14kV,Pass Energy: 23.50eV）

【分析サンプル】
① 金属表面
② カバーガラス表面

３．結果と考察（Results and Discussion）
サンプル①、②にて上記条件での定性・定量分析を行ったところ、詳細データの公開は難しいが、共に目的の元素を検出し、その半定量値を得ることができた。
しかし絶縁物である②においてはピークがシフトしており、解析時にピーク補正を必要とした。シフトの原因についてはチャージアップを推測している。

４．その他・特記事項（Others）
なし。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし。

６．関連特許（Patent）
なし。