課題番号 ：S-16-OS-0032
利用形態 ：機器利用
利用課題名（日本語） ：金蒸着不良解析
Program Title (English) ：Gold vapor deposition failure analysis
利用者名（日本語） ：菅生健太, 柑本一憲
Username (English) ：K. Sugo, K.Koujimoto
所属名（日本語） ：北陽電機株式会社
Affiliation (English) ：HOKUYO AUTOMATIC CO.,LTD.

１．概要（Summary）
光学用樹脂成型品に施したクロム下地金蒸着について、ロットにより反射率を満足しないものが混入したので、不良メカニズムを明らかにし、品質の確保をはかる。

２．実験（Experimental）
【利用した主な装置】
集束イオンビーム装置、走査型電子顕微鏡(SU9000)
【実験方法】
集束イオンビーム装置で蒸着膜の断面を得て、走査型電子顕微鏡で観察を行った。

３．結果と考察（Results and Discussion）
反射率合格品と不良品の間には、Au蒸着厚みの違いがあった。良品は約0.2μm（Fig. 1）、不良品は約0.02μm(Fig. 2)であった。

Fig 1　SEM image of good reflectance

Fig 2　SEM image of poor reflectance

４．その他・特記事項（Others）
・関連する課題番号：F-16-OS-0044

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし。

６．関連特許（Patent）
なし。