課題番号 ：S-18-NI-0018
利用形態 ：技術代行
利用課題名（日本語） ：Co-W触媒のTEM観察
Program Title (English) ：TEM observation of Co-W catalysts
利用者名（日本語） ：Kamal P. Sharma1), 浅香透2), 丸山隆浩1,3)
Username (English) ：Kamal P. Sharma1), T. Asaka2), T. Maruyama1, 3)
所属名（日本語） ：1) 名城大学ナノマテリアル研究センター, 2) 名古屋工業大学大学院, 3) 名城大学理工学部,
Affiliation (English) ：1) Nanomaterials Rsearch Center, Meijo University, 2) Nagoya Institute ofTechnology， 3) Department of Applied Chemistry, Meijo University

１．概要（Summary ）
　単層カーボンナノチューブ（SWCNT）のエレクトロニクス応用において，直径1 nm程度以下の細径かつカイラリティ分布の狭いSWCNTの高効率作製が望まれている。化学気相成長（CVD）法によるSWCNT作製の場合，鉄族元素の触媒にMoを助触媒を加えることで，細径化が進むことが報告されている[1]。この結果から，Co触媒に高融点金属を助触媒として用いると，細径のSWCNTが生成することが示唆される。一方，近年，CoとWの合金触媒を用いることで，カイラリティのそろったSWCNTが成長することも報告されている[2]。本研究では，細径のSWCNT成長実現に向け，CoとWの同時蒸着により作製した触媒に対して，透過電子顕微鏡（TEM）観察を行い，触媒粒子の状態を調べた。
２．実験（Experimental）
　CoとWの同時蒸着は，パルスアークプラズマガン（アルバック理工）を用いて行った。SiO2メンブレンTEMグリッド（アライアンスバイオシステム）上にCoとWを同時蒸着した試料に対して，日本電子のJEM2010を用いてTEM観察を行った。
３．結果と考察（Results and Discussion）
図１にCoとWを同時蒸着した試料のTEM像を示す。黒い部分が堆積したCoとWによる金属粒子である。主に2～3 nmの粒径の金属粒子が形成されていることがわかる。また，元素分析の結果，CoとWは合金を形成せず，相分離して堆積している様子が示唆された。

図１　SiO2メンブレンTEMグリッド上にCoとWの同時蒸着により形成した金属粒子のTEM像

４．その他・特記事項（Others）
参考文献
[1] Y. Murakami et al. Chem. Phys. Lett. 385 (2004) 298.
[2] F. Yang et al. Nature 510 (2014) 522.
謝辞
本研究の一部は，私立大学研究ブランディング事業“新規ナノ材料の開拓と創製による名城大ブランド構築プログラム”の支援を受けました。TEM観察では，名工大　浅香透准教授にお世話になりました。
５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
　なし
６．関連特許（Patent）
　なし