課題番号 ：S-17-JI-0020
利用形態 ：技術代行支援
利用課題名（日本語） ：Mg合金AZ31板材へのMgOの成膜。
利用者名（日本語） ：植田　義明
所属名（日本語） ： 有限会社ディアックス

１． 概要（Summary ）
Mg合金AZ31板材の表裏面上に厚み10nmのMgO膜の成膜および膜厚測定を実施。

２． 実験（Experimental）
１） 目的
従来、電気化学的評価に使用するMg合金
AZ31板材の表裏面上には化学的処理にて極薄のMgO膜付けをおこなってきたが膜厚の制御、および膜厚測定が不可能であった。
　今回、正確な極薄のMgO膜厚を必要とすることから薄膜付け装置による極薄のMgO膜付け、および膜厚測定を実施する。

　　２）方法
薄膜作製装置　ECRイオンシャワー製膜エッ
チング装置（株式会社エリオ二クスEIS-220）
を使用するにあたり外径が□50.0ｍｍｘ厚み0.4ｍｍのMg合金AZ31板材を用意し、前記板材の表裏面に膜厚10nmのMgOを成膜する。

３． 結果と考察（Results and Discussion）
Mg合金AZ31板材の表裏面への成膜においては膜厚測定用Siダミー基板を同時に載置し、前記Siダミー基板面上の膜厚測定にて【表１】の結果が得られた。

成膜時間（分） 膜厚（nm）
30.0 8.2
60.0 14.8
90.0 22.9
【表１】MgO膜厚測定の結果

【表1】のMgO膜厚測定結果から成膜時間を算出し、成膜を実施した結果、Mg合金AZ31板材の表裏面上に
はMgOの厚み10nmが正確に付着していると考えられる。

４．その他・特記事項（Others）
　成膜につきましては北陸先端科学技術大学院大学
村上達也博士からのご指導と多大なるご協力をいた
だきまして感謝申し上げます。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし。

６．関連特許（Patent）
なし。