課題番号                 ：S-17-OS-0057

利用形態                ：技術相談

利用課題名（日本語）    ：WドープVOxにおける1/ｆノイズ評価

Program Title (English)   ：Study on 1/f noise of W-doped VOx Thin Film.

利用者名（日本語）       ：野村　研二

Username (English)       ：K. Nomura

所属名（日本語）          ：オブシディアン　センサー㈱

Affiliation (English)       ：OBSIDIAN SENSORS INC.

キーワード／Keyword　：PLD、Wドープ、二酸化バナジウム、相転移、1/ｆノイズ

１．概要（Summary）

二酸化バナジウムは、約340Kで絶縁相から金属相に相転移する二元化合物として知られている。

この相転移温度は、WやMoをドープすることにより、室温近傍まで引き下げることが可能である。

本課題では、ガラス基板上にWをドープしたVO2膜を成膜し、その1/ｆノイズ評価を行なうことを目的とする。

そこで、大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点の有するPLD装置にて、WドープVO2膜の作製が技術的に可能か、相談を行なった。

２．実験（Experimental）

【利用する主な装置（予定）】

S01 パルスレーザーMBE装置（PLD）

（誠南工業、PLO-020R）

S17 接触式膜厚測定器

（BURUKER “DektakXT”）

【実験方法】

現在、薄膜の仕様や成膜条件を検討中。

３．結果と考察（Results and Discussion）

なし

４．その他・特記事項（Others）

なし

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）

なし

６．関連特許（Patent）

なし