利用報告書
課題番号 :S-18-SH-0006
利用形態 :共同研究型支援
利用課題名(日本語) :センサに付着した生成物のヤング率測定
Program Title (English) : Measuring Young’s Modulus of deposited material
利用者名(日本語) :須藤亜木
Username (English) :Aki Sudou
所属名(日本語) :シチズンファインデバイス株式会社
Affiliation (English) :Citizen Finedevice CO.LTD
1.概要(Summary )
最適な制御を実現させるために、センサの研究開発を行っている。
センサ先端に生成物が堆積することにより、センサの感度が低下する。生成物が堆積すること防ぐことはできないため、生成物の実態を把握し、感度低下域を明らかしたい。
2.実験(Experimental)
試料作製のため、自動精密切断器(アイソメット)
および小型精密試料作製システム(IS-POLISHR)で切断、研磨を行い、イオンミリング装置(IM-4000)で測定面の加工を行った。
Indenter(TI-950)により、測定を行った。
3.結果と考察(Results and Discussion)
切断、研磨時に生成物がセンサより剥がれ落ちる現象が発生し、エポキシ樹脂での包埋が必要になった。
図 1、生成物SEM像(イオンミリング後)
図 2、Force vs Displacement
そのため、図2のように測定はできたが、生成物内部にも樹脂が入り込んでいる可能性が考えられ、生成物の結果と考えることはできなかった。
サンプル作製も含め、他の方法で生成物の実体を把握する方法を考え、進めていきたい。
4.その他・特記事項(Others)
サンプル作製方法の立案時より助言していただき、サンプル作製およびIndenterの測定方法等の指導で、大変お世話にになった小畑美智子研究員に感謝申し上げます。
5.論文・学会発表(Publication/Presentation)
なし。
6.関連特許(Patent)
なし。