課題番号 ：S-18-SH-0002
利用形態 ：共同研究型
利用課題名（日本語） ：計測機器の性能向上
Program Title (English) ：Improvement of measurement equipment performance
利用者名（日本語） ：佐々木画有呂
Username (English) ：E. Sasaki
所属名（日本語） ：長野計器 株式会社
Affiliation (English) ：NAGANO KEIKI Co., Ltd.

１．概要（Summary ）
計測機器の性能向上を目的に新規薄膜パターン形成に関する研究開発を行っている。欠陥が無く、より形状再現性の良いパターンの作製を目指す。

２．実験（Experimental）
薄膜形成実験を行った結果、φ5×4mmの試験基板上に変色が生じた。この変色の由来についてX線電子分光分析装置(XPS): PHI QuanteraⅡにより分析を行なった。

３．結果と考察（Results and Discussion）
写真1に基板の変色箇所を示す。変色はプロセス中、薄膜の評価に用いた粘着剤の可能性があり、変色部と粘着剤のナロースペクトルからカーブフィッティングにより炭素(C1s)の結合状態を比較した。結果、図表1より粘着剤は95%以上がC-CやC-Hの結合であり、ほぼCH2の分子鎖で構成されていると推測される。一方、変色部はC-Oの割合が高く、フッ素との結合も存在している。このことから、変色は粘着剤によるものではなく、フッ素系のガスを用いている他の薄膜パターン形成プロセスからの由来である事が判り、それら、工程の最適化検証によりコンタミのない良好なパターンを得るに至った。

４．その他・特記事項（Others）
ナノテクノロジープラットフォーム事業の機器利用にあたり、ご指導頂きました森本信吾特任教授、小畑美智子研究員に感謝申し上げます。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし。

６．関連特許（Patent）
なし。