課題番号 ：S-14-SH-0044
利用形態 ：共同研究型
利用課題名（日本語） ：酸化チタン複合金属薄膜（水分散ナノ粒子）による表面電荷制御の研究
Program Title (English) ：Study of surface electric charge control by thin film made of titanium oxide and composite Metal -Nano particle dispersion-
利用者名（日本語） ：緒方 四郎, 佐藤 安雄
Username (English) ：Shiro Ogata, Yasuo Sato)
所属名（日本語） ： サスティナブル・テクノロジー株式会社
Affiliation (English) ： Sustainable Titania Technology Inc.

１．概要（Summary ）
酸化チタンをベース材料とし、それにCuおよびSnをドープした薄膜を作製し、ドープ金属の濃度と膜の機能または特性との関係を体系づけるための基礎的検討を行った。

２．実験（Experimental）
成膜試料について、それぞれ化学組成分析を蛍光X線(XRF)分析装置：Rigaku ZSX Primus Ⅱ、相構造を多目的XRD装置：Rigaku SmartLabによる薄膜法、さらに表面組織観察および化学組成分析をFE-SEM：Hitachi SU8000により実施した。

３．結果と考察（Results and Discussion）
XRFおよびFE-SEM/EDX分析では、成膜のために予め準備した原料溶液により設計した目標の元素成分組成のほかに炭素が含有されているものが有った。炭素の由来については十分解明できず検討が必要である。
薄膜法XRGによる結晶構造解析により、試料はすべてアモルファス構造をとることが分かった。
試料表面をFE-SEM観察した結果の代表例として
図1　Cuをドープした酸化チタン膜
Cuをドープした酸化チタン膜（EDX分析による化学組成はO:30, Ti:54.3, Cu:12.7, C:3.1mass%）の像を図1に、Snをドープした酸化チタン膜（同化学組成はO:49.3, Si:10, Ti:34.8, Sn:5.9mass%）の像を図2に示す。
図1と図2の試料は共に数nm以下の極めて微細な粒子から構成されている比較的均一な表面状態を呈することが分かった。SEM観察からは解明できない膜の内部構造や結晶構造についてはさらに透過電子顕微鏡による検討が必要である。

図2　Snをドープした酸化チタン膜

４．その他・特記事項（Others）
「なし」

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
「なし」

６．関連特許（Patent）
「なし」