課題番号 ：S-16-SH-0007
利用形態 ：共同研究
利用課題名（日本語） ：アルミ電解コンデンサ用箔の構造、および組成分析
Program Title (English) ：Structure and composition analysis of aluminum foils for electrolytic capacitor
利用者名（日本語） ：雨宮公男, 新田茂直、山田真稔
Username (English) ：Kimio Amemiya, Shigenao Nitta，Masatoshi Yamada
所属名（日本語） ：ニチコン製箔株式会社
Affiliation (English) ：Nichicon Hi-Tech Foil Corporation

１．概要（Summary ）
アルミ電解コンデンサ用化成箔は無数の穴が開いており、更にその表面に厚さ数10～数100nm程度のアルミ酸化皮膜が形成されている。コンデンサ製品化後の特性を改善するためにはこの酸化皮膜の性能改善が必要であり、ナノスケールでの分析が必要不可欠である。そのためにはTEMによる詳細分析が望ましく、本プラットフォームを利用させていただいた。
２．実験（Experimental）
試作化成箔の化成部分からTEM観察用の資料を切り出し、薄片状に加工したうえで TEM観察および電子線回折法で結晶性を評価した。
３．結果と考察（Results and Discussion）
アルミ電解コンデンサ用化成箔の高圧用サンプルを４サンプル分析していただいた。その内の1サンプルは社内プロセスを改善したもので、１昨年に改善前のサンプルをＴＥＭ観察していただいた結果と比較することで結晶構造が改善していることを確認する事が出来た。また別なサンプルはこの技術を高電圧条件に適用した条件で、この条件でも意図した結晶構造になっていることが確認できた。
これらの結果からアルミ箔の化成工程のプロセス条件と結晶構造の対応に関する情報が得られ、この情報を元にプロセス条件を最適化し化成箔の特性改善を進めることができた。
化成膜のTEM像

化成膜のSTEM像

４．その他・特記事項（Others）
ＴＥＭ分析は研究支援センター機器分析部門分室の山上朋彦様に担当していただきました。当方の依頼に対して丁寧に分析を実行していただき、かつデータの説明も非常に詳しく行っていただき、大変感謝しております。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし

６．関連特許（Patent）
なし