課題番号 ：S-16-SH-0004・0025
利用形態 ：（重複する場合は、主な形態を選択して、１つを記入してください。）
利用課題名（日本語） ：ダイヤモンド電極作製と評価
Program Title (English) ：Development and evaluation of　diamond electrode
利用者名（日本語） ：松原周平
Username (English) ：S.Matsubara
所属名（日本語） ：KOA株式会社　技術イニシアティブ　技創りセンター　要素技術開発グループ
Affiliation (English) ：KOA CORPORATION
Elemental Technology Development Group
Technology ＆ Engineering Centet
Research ＆ Development Initiative

１．概要（Summary ）
ラマン分光測定装置を用いて、成膜時のホウ素源流量の違う3種類のBDD(ボロンドープダイヤモンド)電極の評価を実施した。その結果、ホウ素流量が多いほど、1200cm-1付近のC-B結合ピーク、500cm-1付近のB-B結合ピークが増大し、全体のピーク強度が小さくなること傾向であることを確認した。

２．実験（Experimental）
ラマン分光測定装置（Renishaw in Via Raman Microscope Reflex 7853）を用いて、成膜時のホウ素源流量の違う3種類のBDD(ボロンドープダイヤモンド)電極の評価を実施した。

３．結果と考察（Results and Discussion）
測定結果を以下に示す。

1200cm-1付近のC-B結合ピーク、500cm-1付近のB-B結合ピークに着目したところ、ホウ素流量が増加するにつれて各ピークが増大することが分かった。また、ホウ素流量が増大するにつれて、全体のピーク強度が小さくなる傾向であった。これは、ホウ素をドープすることにより、皮膜全体の結晶性が悪くなったためだと考えられる。

４．その他・特記事項（Others）
●ラマン分光測定対応
・ナノテクプラットフォーム事業　研究員　森本信吾様
・ナノテクプラットフォーム事業　助教　王志朋様

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし

６．関連特許（Patent）
なし