課題番号                ：S-20-NU-0013

利用形態                ：機器利用

利用課題名（日本語）    ：ナノホールアレイの幾何学形状制御

Program Title (English) ：Geometrical control of nanohole array structures

利用者名（日本語）      ：近藤敏彰

Username (English)     ：T. Kondo

所属名（日本語）        ：愛知工科大学工学部

Affiliation (English)  ：Aichi University of Technology

１．概要（Summary）

金属に適切な条件にてアノード酸化処理を施すと、金属表面にはナノ細孔配列を有する酸化物層が形成されることが知られている。本課題では、ガリウムをアノード酸化することで形成されたナノ細孔配列構造の幾何学形状を、走査型電子顕微鏡を用いて観察した。

２．実験（Experimental）

アノード酸化を施したガリウムの表面、および、断面の幾何学形状を、フィールドエミッション型走査型電子顕微鏡（JSM-7500F: JEOL）を用いて詳細に観察した。

３．結果と考察（Results and Discussion）

図１には、アノード酸化後のガリウム表面の低倍SEM像を示す。SEM像より、部分的ではあるが、ナノ細孔配列の形成が観察された。

図２には、試料の高倍SEM像を示す。細孔直径、および、配列間隔は、それぞれ、85nmと200nmであった。

また断面観察を行った結果、ナノ細孔が膜面に対して直行している様子が観察された。ポーラス層の膜厚は、700nmであった。

４．その他・特記事項（Others）

走査型電子顕微鏡観察に際して、名古屋大学林育夫氏のご支援を頂いた。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）

なし。

６．関連特許（Patent）

なし。