課題番号 ：S-15-NU-0030
利用形態 ：技術代行
利用課題名（日本語） ：プラズマ重合膜の表面近傍の内部構造解析
Program Title (English) ：Structural analysis near the surface analysis for plasma-polymerized films
利用者名（日本語） ：石井大佑
Username (English) ：D. Ishii
所属名（日本語） ：名古屋工業大学
Affiliation (English) ：Nagoya Institute of Technology

１．概要（Summary ）
高分子界面活性剤(Tween20)をプラズマ処理により重合架橋したプラズマ重合膜の研究を行っている。本年度は、金属基板上に成膜される膜の構造について斜入射X線散乱(GI-SAXS)測定による構造解析を行った。

２．実験（Experimental）
X線散乱装置（Rigaku FR-E）にGI-SAXSの光学試料ステージを設置した。プラズマ重合膜にX線を入射角0.15～0.2°にて照射し、2D散乱像をイメージングプレートカメラ(Rigaku RAXIS-IV)にて測定した。

３．結果と考察（Results and Discussion）
金属基板上にプラズマ重合、成膜したTween20膜の散乱測定を行ったところ、有意な散乱は全く観察されなかった(Figure 1)。これまで、ガラス基板状に成膜した場合、面外および面内方向に特徴的な散乱が観察されている。したがって、金属基板上に成膜した場合、ガラス基板上のものより粗密差の少ない、より均一な膜が成膜されているものと考察できる。今後、成膜条件を変え、基板の影響を調べる予定である。

Figure 1. 2D GI-SAXS profiles of the Tween20 plasma-polymerized films onto a metal substrate.

４．その他・特記事項（Others）
なし

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし

６．関連特許（Patent）
なし