課題番号 ：S-18-JI-0035
利用形態 ：機器利用
利用課題名（日本語） ：ポリマーブレンドフィルムの相模様の観察
Program Title (English) ：Observation of morphology of polymer blend film
利用者名（日本語） ：瀧健太郎
Username (English) ：K. Taki1)
所属名（日本語） ：1) 金沢大学理工研究域機械工学系
Affiliation (English) ：1) School of Mechanical Engineering, Kanazawa University

１．概要（Summary ）
ポリマーブレンドフィルムの相模様は，校正するポリマーの種類や組成によって変化する。また，熱アニールや溶媒アニールなどのアニール条件によっても変化すると言われている。本研究では，ある化学反応により形成されたポリマーブレンドフィルムの相模様を走査プローブ顕微鏡（SPM）の一つである原子間力顕微鏡の位相モードで観察した。

２．実験（Experimental）
使用した実験装置は，原子間力顕微鏡（SII社製 SPI3800N/SPA-400）製を使用した。観察モードはタッピングモードとして，室温で行った。試料は，シリコンウェハ上にスピンコータでキャストした後にある化学反応で硬化させてフィルムとした。

３．結果と考察（Results and Discussion）
図1と２に観察結果の一例を示す。観察結果は位相像である。位相像は，タッピングモードにおける位相の遅れを表していると考えられ，試料表面の粘弾性の違いを観

図1　サンプルの位相像（条件1）

図2　サンプルの位相像（条件2）

察することができると言われている。図1と図2のでは，像の中に存在する点の数が異なることがわかる。二つの図は試料の作成条件が異なるため，異なる相模様が得られたものと思われる。

４．その他・特記事項（Others）
該当なし。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
該当なし。

６．関連特許（Patent）
該当なし。