課題番号 ：S-16-OS-0035
利用形態 ：機器利用
利用課題名（日本語） ：多結晶グラフェンにおけるグレインバウンダリの構造解析
Program Title (English) ：Structure analysis of graphene boundary in polycrystalline graphene
利用者名（日本語） ：金井　康1), 小野　尭生1), 生田 昂1), 森 祐樹1), 岡崎 凌1), 牛場 翔太2),
谷奥　正巳1)
Username (English) ：Y. Kanai1), T. Takao1), T. Ikuta1), Y. Mori1), R. Okazaki1), S. Ushiba2), M. Tanioku1)
所属名（日本語） ：1)大阪大学, 産業科学研究所, 半導体量子科学分野, 2)株式会社村田製作所,
Affiliation (English) ：1) Institute of Sientific and Industrial Research, Osaka University, 2) Murata Manufacturing Co., Ltd.

１． 概要（Summary）
レーザーラマン顕微鏡を用いることで、グレインバウンダリの有無を確認し、任意のグラフェンの結晶数と質を調べる。
２．実験（Experimental）
【利用した主な装置】
レーザーラマン顕微鏡
【実験方法】
銅箔上に化学気相成長法を用いて、グラフェンの成長を行った。レーザーラマン顕微鏡を使用して、ラマン分光を行い。グラフェンによって生じる、銅箔上に合成したグラフェンのDバンド、Gバンド,2Dバンドのピークの強度を調べて、合成したグラフェンの評価を行った。

３． 結果と考察（Results and Discussion）
化学気相成長法によって銅箔上に合成したグラフェンの光学顕微鏡写真をFigure1に示す。多数のグラフェンが銅箔上に合成されていることがわかる。このときには合成時間が15分であるため、合成されたグラフェンの大きさは10 m程度であり、銅箔全体にグラフェンは形成されていない。実際にグラフェンをFET等のデバイスとして利用する際には、合成時間を延ばして、銅箔上全面にグラフェンを合成して利用する。そのとき、グラフェンが重なりグラフェンバウンダリーが生じる。このグラフェンバウンダリーではグラフェン上とは異なるラマン分光を示すことが知られている。合成したグラフェンに対してラマン分光測定によるマッピングを行うことにより、グラフェンバウンダリーの位置を調べた。

４．その他・特記事項（Others）
謝辞
ラマン分光等の技術的な支援をしていただき感謝いたします。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
(1) 牛場 翔太 , 小野 尭生, 金井 康, 木村 雅, 松本 和彦 第64回応用物理学会春季学術講演会　平成29年　3月14日
(2) 岡崎 凌, 谷奥 正巳, 生田 昂, 金井 康, 小 野 尭生, 井上 恒一, 松本 和彦,　第64回応用物理学会春季学術講演会　平成29年　3月15日
(3) Yuki Mori, Yuto Anzai, Takashi Ikuta, Takao Ono, Yasushi Kanai, Yasuhide Ohno, Kenzo Maehashi, Koichi Inoue, and Kazuhiko Matsumoto, The 20th SANKEN International Symposium　平成28年12月13日

６．関連特許（Patent）
なし