課題番号               ：S-17-NI-0023

利用形態                ：技術代行

利用課題名（日本語）    ：薄膜磁性材料の透磁率測定

Program Title (English)：Permeability measurement of thin film magnetic material

利用者名（日本語）       : 武藤　勝紀¹⁾

Username (English)     ：Katsunori Muto¹⁾

所属名（日本語）         ：1) 積水化学工業株式会社

Affiliation (English) ：1)SEKISUI CHEMICAL CO.,LTD.

• 概要（Summary ）

金属薄膜材料の磁気特性の評価

• 実験（Experimental）

スパッタリングにより金属厚みが異なる薄膜をPET基材上に成膜した。

磁気特性評価は振動試料型磁束計・東英工業（株）社製　VSM-5を用いて測定した

高周波時期特性は高周波透磁率測定装置・凌和電子（株）社製　PMF-3000を用いて測定した。

• 結果と考察（Results and Discussion）

金属厚みより磁気特性、高周波の透磁率の違いがみられた。今後更に成膜条件を変更したサンプルの特性評価も進めていく。

４．その他・特記事項（Others）

なし。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）

なし。

６．関連特許（Patent）

なし。