課題番号（Application Number）：S-16-NR-0034
利用形態（Type of Service）：共同研究
利用課題名（日本語） ：複製モールド用材料及びナノインプリント材料の開発
Program Title (English) ： Development of NANOIMPRINT
利用者名（日本語） ：蕗田　晋 1)
Username (English) ：S. Fukita1)
所属名（日本語） ：1)新中村化学工業株式会社
Affiliation (English) ：1)Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.

１．概要（Summary ）
複製モールド用材料とナノインプリント材料の開発を目指し、光硬化樹脂の配合検討し、SEMにより評価する。

２．実験（Experimental）
候補配合品をシリコンウエハにスピンコーターで塗布し、そこへモールドでインプリントして状態を走査電子顕微鏡（SEM）で観察した。

走査電子顕微鏡（SEM）
日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞSU6600

３．結果と考察（Results and Discussion）
複製モールド用材料としてはまだまだ改良の余地あり(満足できるものは得られていない)。観察する手段としてSEMは有効であることが分かったが、今後開発を進めるにあたって、評価手段・評価手法に課題があることがわかった。それに関しては、調査・検討が必要である。

SEM観察像　Ⅰ

SEM観察像　Ⅱ

４．その他・特記事項（Others）
奈良先端科学技術大学院大学　准教授　石河先生
同校　学生　中井様
同校　技術職員　小池様
には多大なる協力を頂きました。ご協力感謝します。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし

６．関連特許（Patent）
なし