課題番号 ：S-16-SH-0016
利用形態 ：共同研究型支援(通年)
利用課題名（日本語） ：金型部品へのダイヤモンドコーティングに関する研究
Program Title (English) ：Research and development of CVD Diamond for die parts
利用者名（日本語） ：後藤修一
Username (English) ：Shuichi Goto
所属名（日本語） ：株式会社　鈴木
Affiliation (English) ：SUZUKI Co., Ltd.

１．概要（Summary ）
精密プレス金型の耐摩耗性の向上を目指しダイヤモンドコーティングの研究開発を行っている。
これまでの結果に対し、1/2以下の粒径サイズ　　（1～2μｍ）となるコーティング膜の開発を目指す。
２．実験（Experimental）
1.5mm×2mm×45mmの精密プレス金型用パンチ（超硬製）の刃先に熱フィラメントCVD法によりダイヤモンドコートにおいて加熱方法を工夫し、メタン濃度・ガス流量・真空度・合成時間等の条件を変化させ、その変化を観察した。
並行して、信州大学の保有する高出力マイクロ波プラズマCVD装置を用いて超硬チップ上への成膜を試みた。
３．結果と考察（Results and Discussion）
ホットフィラメント法：　発生した核を自形面を持った目的のサイズに成長させることについては一定の条件が確認できた。
一方、核発生に関わる事項、特に素材表面状態の違い（面粗さ、前処理等）による影響については未だ十分な確認ができていない。

マイクロ波プラズマCVD法：　超硬チップ先端にプラズマを集中できることを確認した。　プラズマ空間の写真参照

析出物は結晶質であったがRaman分析の結果ではｓｐ２成分の多い物質であった。

４．その他・特記事項（Others）
本件に関し、信州大学ナノテクノロジープラットフォーム事業の橋本佳男教授および森本信吾研究員に貴重なアドバイスを頂きました。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
なし

６．関連特許（Patent）
なし