利用報告書
課題番号 :S-18-NM-0002
利用形態 :機器利用
利用課題名(日本語) :SERSチップ開発
Program Title (English) :Development of SERS chip
利用者名(日本語) :梶田浩志
Username (English) : H. Kajita
所属名(日本語) : SCIVAX株式会社
Affiliation (English) :SCIVAX, Co., Ltd.
1.概要(Summary)
昨年より、Surface enhanced Raman scattering (SERS) チップの開発を行ってきた。昨年は、様々な微細構造の定量データを取得した。本年はこれらの結果を用いて、光学シミュレーションを行い、この結果を基に、SERSチップを作成した。これにより、従来の100倍高感度のSERSチップ作成に成功した。
2.実験(Experimental)
【利用した主な装置】
【実験方法】
弊社開発の大面積ナノインプリント装置を用いて、8inchシリコン基板にナノインプリント加工を行った。成型物の面内均一性は、弊社のマクロ検査装置を用いて確認した。また成型物の形状は、Field-Emission Scanning Electron Microscopes (FE-SEM)を用いて確認した。この成型物にマグネトロンスパッタ装置を用いてAgをスパッタした。
このSERSチップに4-Aminothiophenol (4-ATP) を処理した後、約5mm角にカットし、スライドガラスに固定して、ラマン顕微鏡で評価した。
3.結果と考察(Results and Discussion)
SERSは、定性と、高感度の定量がでできることが特徴である。まず定性では、ラマンスペクトラム既知の4-ATPを測定し、問題ないことを確認した(Fig. 1)。
定量では、昨年使用の微細構造と、本年作成の3種類の微細構造と比較したところ、最大で約100倍のラマン強度差が得られた(Fig. 2. OldとNew-03)。
Fig. 1. Raman spectra of 4-ATP.
Fig. 2. Comparison of Raman intensity.
4.その他・特記事項(Others)
ラマン顕微鏡の利用に際し、NIMS分子・物質合成PF 服部様に、スキャン方法や解析のアドバイスを頂いた。
金属の成膜には、4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムの4元マグネトロンスパッタ装置を利用した。
5.論文・学会発表(Publication/Presentation)
なし。
6.関連特許(Patent)
なし。