課題番号 ：S-18-SH-0006
利用形態 ：共同研究型支援
利用課題名（日本語） ：センサに付着した生成物のヤング率測定
Program Title (English) ： Measuring　Young’s Modulus of deposited material
利用者名（日本語） ：須藤亜木
Username (English) ：Aki Sudou
所属名（日本語） ：シチズンファインデバイス株式会社
Affiliation (English) ：Citizen Finedevice CO.LTD

１．概要（Summary ）
　最適な制御を実現させるために、センサの研究開発を行っている。
センサ先端に生成物が堆積することにより、センサの感度が低下する。生成物が堆積すること防ぐことはできないため、生成物の実態を把握し、感度低下域を明らかしたい。

２．実験（Experimental）
　試料作製のため、自動精密切断器（アイソメット）
および小型精密試料作製システム（IS-POLISHR）で切断、研磨を行い、イオンミリング装置（IM-4000）で測定面の加工を行った。
　Indenter（TI-950）により、測定を行った。

３．結果と考察（Results and Discussion）
　切断、研磨時に生成物がセンサより剥がれ落ちる現象が発生し、エポキシ樹脂での包埋が必要になった。

図 1、生成物SEM像（イオンミリング後）

図 2、Force vs Displacement
そのため、図２のように測定はできたが、生成物内部にも樹脂が入り込んでいる可能性が考えられ、生成物の結果と考えることはできなかった。
サンプル作製も含め、他の方法で生成物の実体を把握する方法を考え、進めていきたい。

４．その他・特記事項（Others）
　サンプル作製方法の立案時より助言していただき、サンプル作製およびIndenterの測定方法等の指導で、大変お世話にになった小畑美智子研究員に感謝申し上げます。

５．論文・学会発表（Publication/Presentation）
　なし。

６．関連特許（Patent）
　なし。