走査型トンネル顕微鏡(STM)／原子間力顕微鏡(AFM)
| 走査型近接場光学顕微分光システム 日本分光社製 NFS-230 |
波長分解能： 0.5nm以下 測定波長範囲：500-1000nm |
千歳大 |
|---|---|---|
| 走査型プローブ顕微鏡 日本電子株式会社製 JSPM-5200, JSPM-4200 |
千歳大 | |
| ナノサーチ顕微鏡 島津製作所製： SFT-3500 |
LSM対物レンズ:5倍、20倍、100倍 SPM検出系:光テコ方式（カンチレバーアライメントジグによるプリマウント方式） |
NIMS |
| 大気中原子間力顕微鏡･AFM SII社製 SPI-3800/SPA-400 |
測定方式：光てこ方式 試料サイズ： 最大直径35mmφ 最大厚み10mm 走査範囲：20μm |
北陸先端大 |
| 高分子ナノ薄膜の膜厚測定(簡易原子間力顕微鏡)SII製 NPX2100 | 光学顕微鏡観察下測定、段差測定、膜厚測定、等 | 名大 |
| 薄膜表面観察(原子間力顕微鏡) Asylum, MFP-3D |
分解能： 0.2nm 垂直： 0.01nm、 温度可変観察 |
名大 |
| 原子間力顕微鏡 Veeco Instruments製 Nanoscope IIIa |
MMAFM型マルチモードSPMユニット | 名大 |
| 原子間力顕微鏡： 島津製作所社製 FTM-9600 |
コンタクトモード、ダイナミックモード、位相モード、 電流モード、水平力モード、 磁気力モード、表面電位モード、 分解能：水平0.2nm 垂直0.01nm |
名工大 |
| 精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置 日本電子(JEOL)製 JSPM-5200TM 特型 |
分解能：原子分解能、CNF探針装備 測定モード：形状、電気特性、磁気特性測定 |
名工大 |
| 環境制御型走査型プローブﾞ顕微鏡システム 日立ハイテクサイエンス社製 NanoNaviⅡ/SPA-300HV |
真空度：～10-5Pa、各種ガス雰囲気 分解能:0.3nm, 試料温度：-120～300℃ 液中観察可能 試料サイズ：max 2inch |
大阪大 |
| ナノ薄膜物性解析システム 株式会社日立ハイテクサイエンス NanoNaviReal/E-Sweep |
AFM・MFM・KFM・電流マッピング対応 真空度：～10-5Pa 加熱・冷却対応温度制御ステージ：-100～+100℃ 水平磁場印加システム対応：3000ガウス 試料サイズ：max 25mmφ、10mm t（水平磁場印加システム取付時はmax 6mmφ、5mm t） |
大阪大 |
| 走査型プローブ顕微鏡 アジレントテクノロジー社製 PicoPlus 5500 |
水平分解能：0.14 nm 垂直分解能：0.01 nm | 九州大 |
| 走査型プローブ顕微鏡 島津製作所社製SPM9600 |
分解能 水平0.2nm 垂直0.01nm 測定モード ：コンタクト、ダイナミック、位相 |
九州大 |
| 環境制御型ユニット付き多機能走査型プローブ顕微鏡 エスアイアイ・ナノテクノロジー社製SPA300HV |
原子間力顕微鏡観察（コンタクト、タッピング）、水平力（摩擦力）顕微鏡観察、温度可変観察、粘弾性モード観察、大気中・真空中・液中観察 | 九州大 |
| 環境制御型多機能走査プローブ顕微鏡 エスアイアイ・ナノテクノロジー社製SPI3800N |
環境：大気中、液中、真空中、ガス雰囲気 温度制御: 自動加熱・冷却(-120～250℃) 位相、摩擦、粘弾性、電流、etc. |
九州大 |
| 走査型プローブ顕微鏡測定システム Veeco社製nanoscopeIIIa |
常温・常圧下、または溶液中における分子構造の観察 | 九州大 |
| 走査型プローブ顕微鏡測定システム Veeco社製nanoscopeIIIa |
九州大 | |
| 表面抵抗率計 三菱化学社製 Loresta-GP |
４端子４探針法 定電流印加方式、測定レンジ：10-3～107Ω 直列４探針プローブ |
九州大 |
| 触針式表面形状測定器 アルバック社製 Dektak 6M |
150mmφ対応 測定再現性 1σ=10Å以下 |
千歳大 |
| 接触式膜厚測定器 BRUKER社製 DektakXT-A |
測定レンジ：1mm 測定再現性：5Å | 大阪大 |
| 表面形状測定装置 Veeco社製Dektak 6M |
垂直方向分解能 1Å～40Å | 九州大 |
